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静电在工业生产中造成的危害主要可归结为以下两种机理:
一、静电放电(ESD)造成的危害
(1)引起电子设备的故障或误动作,造成电磁干扰。
(2)击穿集成电路和精密的电子元件,或者促使元件老化,降低生产成品率。
(3)高压静电放电造成电击,危及人身安全。
(4)在多易燃易爆品或粉尘、油雾的生产场所极易引起爆炸和火灾。
二、静电吸引力(ESA)造成的危害
(1)电子工业:吸附灰尘,造成集成电路和半导体元件的污染,大大降低成品率。
(2)胶片和塑料工业:使胶片或薄膜收卷不齐;胶片、CD塑盘沾染灰尘,影响品质。
(3)造纸印刷工业:纸张收卷不齐,套印不准,吸污严重,甚至纸张黏结,影响生产。
(4)纺织工业:造成根丝飘动、缠花断头、纱线纠结等危害。
(5)塑胶喷涂:塑胶产品静电高,易吸附灰尘,喷涂后影响工件的美观和品质。
静电放电引起的元器件击穿损害是电子工业最普遍、最严重的静电危害,它分硬击穿和软击穿。硬击穿是一次性造成元器件介质击穿、烧毁或永久性失效;软击穿则是造成器件的性能劣化或参数指标下降磨擦起电和人体静电是电子、微电子工业中的两大危害源,但产生静电并非危害所在,危害在于静电积累及由此产生的静电放电,因此必须予以控制。